三氟甲烷 （CHF3)
項目名稱 | 純度指標（%） |
| 三氟甲烷 | ≥99.999 | ≥99.9 |
雜質含量（ppm) | 水（H2O） | ≤3 | ≤10 |
| 氧氣（O2） | ≤2 | - |
氮氣（N2） | ≤5 | - |
| 二氧化碳（H2SiF6) | ≤3 | ≤100 |
酸度（Acidity) | ≤0.1 | ≤1 |
包裝
：采用40L
、47L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要分裝到8L的氣瓶中
。
用途
：用作電子工業等離子體化學蝕刻劑
、低溫（-100℃）製冷劑及氟有機化合物的原料
。
理化性質: 是一種無色
、微味
，不導電的低毒類氣體
，是理想的鹵代烷替代物
。高濃度三氟甲烷具有窒息**作用
，對腦神經有損害
。液體接觸時可能引起凍傷
。
注意事項
：儲存於陰涼
、通風的不燃氣體專用庫房
。遠離火種
、熱源
。庫溫不宜超過30℃
。應與氧化劑
、易（可）燃物分開存放
，切忌混儲
。儲區應備有泄漏應急處理設備
。
