三氟化氮 （NF3)
項目名稱 | 純度指標（%） |
三氟化氮 | ≥99.999 |
雜質含量（ppm) | 氮氣（N2） | ≤1 |
氧氣+氬氣（O2+Ar） | ≤1 |
二氧化碳（CO2） | ≤1 |
一氧化碳（CO) | ≤1 |
| 四氟化碳（CF4) | ≤10 |
| 水（H2O） | ≤1 |
| 六氟化硫（SF6） | ≤1 |
| 氟化氫（HF） | ≤1 |
| 氧化亞氮（N2O） | ≤1 |
包裝
：采用44L
、47L鋼瓶充裝
，也可根據客戶需要分裝到8L的氣瓶中
。
用途
：NF3是微電子工業中一種優良的等離子蝕刻氣體
，對矽和氮化矽的蝕刻
，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性
，而且對表麵無汙染
。
理化性質: 在常溫常壓下 , 三氟化氮為無色
、無臭
、性質穩定的液化氣體
，高純三氟化氮幾乎沒有氣味
，它是一種熱力學穩定的氧化劑
，大約在 350 ℃左右可離解成為二氟化氮和氟氣
，故其反應性相似於氟
。
注意事項
：
1.在70℃以下NF3氣體對普通金屬是不腐蝕的
，因此鋼、銅
、鎳
、鋁和不鏽鋼在70℃以下均可用作包裝材料
。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝
，對氣瓶每兩年要檢驗一次
。按有毒高壓液化氣體規定運輸
，國外規定可以用汽車
、火車運輸
，不能用飛機運輸
。氣瓶充裝係數不大於0.01
。
2.儲存於陰涼
、通風的有毒氣體專用庫房
。遠離火種
、熱源。庫溫不宜超過30℃
。應與易（可）燃物
、還原劑
、食用化學品分開存放
，切忌混儲
。儲區應備有泄漏應急處理設備
。
